气体尘埃粒子计数器的校正程序

一． 校正所需设备

1.100级洁净房或洁净台

2. 一台用于作对比，尚在校正期内的尘埃粒子计数器

3.各粒径的标准粒子，如0.3um ; 0.5um ; 1um 等等

4.标准粒子气体产生器，如Model 255

5.可产生脱离水（DI水）的纯水系统或类似装置

6.其它普通电器，如220V电源插座，万用表等等

二. 校正的基本步骤：

    现假设对一台常见的粒子计数器作校正

1．首先，要清楚产品有何差别，其测试原理一样流速为1CFM（立方英尺/分钟） 

2．首先请将洁净台开机，工作半小时，其间内也打开机器让其预热半小时。

3．准备好255的取样器管，并搭接好其所有气体管路。

4． 将配好的标准液（如0.301um）放入脱原子瓶中，注意勿让液体超过喷嘴。

5．设置粒子计数器的基本参数

（1） 取样时间都设置为00：01：00

（2） 取样次数都设置03

（3） 取样模式都设置为Auto

（4） 间隔时间都设置为00：00：05

（5） 读数模式都设置为Cumulative

 注：以上设置相同，因其流速有10倍差 

6． 此时，打开255电源，调节脱原子气体阀和干燥气体阀，在调至喷嘴阀处呈气雾出现，干燥气体流速计约60SCFH时后，保持其工作状态。

7．此时机器工作，看其三次的平均结果，若在20%以内，视为合格。

8．拆下脱原子瓶，重新滴入其它标准粒子，重复该测试。

9．以上校正只是对比校正，尚可用万用表对其基本参数测量，用示波器对其信号捕捉等来辅助调校。