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空气颗粒计数器的校准步骤和方法
2017-11-14 10:11:12 来源:校正的基本步骤:
现假设对一台常见的Royco HH200作校正
1、首先,要清楚Royco 323和HH200A有何差别,其测试原理一样,但Royco 323流速为1CFM(立方英尺/分钟),而Royco HH200则为0.1CFM。
2、将洁净台开机,工作半小时,其间内也打开Royco 323和Royco HH200,让其预热半小时。
3、准备好255的取样器管,并搭接好其所有气体管路。
4、将配好的标准液(如0.301um)放入脱原子瓶中,注意勿让液体超过喷嘴。
5、设置Royco323和Royco HH200的基本参数
(1)取样时间都设置为00:01:00
(2)取样次数都设置03
(3)取样模式都设置为Auto
(4)间隔时间都设置为00:00:05
(5)读数模式都设置为Cumulative
注:以上设置相同,因其流速有10倍差,故Royco323测试结果会是Royco HH200的10倍。
6、打开255电源,调节脱原子气体阀和干燥气体阀,在调至喷嘴阀处呈气雾出现,干燥气体流速计约60SCFH时后,保持其工作状态。
7、让Royco 323和Royco HH200同时工作,看其三次的平均结果,若在20%以内,视为合格。
8、拆下脱原子瓶,重新滴入其它标准粒子,重复该测试。
9、以上校正只是对比校正,尚可用万用表对其基本参数测量,用示波器对其信号捕捉等来辅助调校。
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