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气体尘埃粒子计数器的校正程序
2012-11-30 15:44:21 来源：尘埃粒子计数器是用于测量洁净环境中单位体积内尘埃粒子数和粒径分布的仪器。它可广泛应用于为各省市药检所、血液中心、*站、*中心、质量监督所等权威机构、电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工、塑胶、喷漆、医院、环保、检验所等生产企业和科研部门。
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校正所需设备
- 100级洁净房或洁净台
- 一台用于作对比，尚在校正期内的尘埃粒子计数器，如Royco323
- 各粒径的标准粒子，如0.3um ; 0.5um ; 1um 等等
- 标准粒子气体产生器，如Model 255
- 可产生脱离水（DI水）的纯水系统或类似装置
- 其它普通电器，如220V电源插座，万用表等等
- 校正的基本原理
三. 校正的基本步骤：
现假设对一台常见的Royco HH200作校正
- 首先，要清楚Royco 323和HH200A有何差别，其测试原理一样，但Royco 323流速为1CFM（立方英尺/分钟），而Royco HH200则为0.1CFM。
- 首先，请将洁净台开机，工作半小时，其间内也打开Royco 323和Royco HH200，让其预热半小时。
- 准备好255的取样器管，并搭接好其所有气体管路。
- 将配好的标准液（如0.301um）放入脱原子瓶中，注意勿让液体超过喷嘴。
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设置Royco323和Royco HH200的基本参数
- 取样时间都设置为00：01：00
- 取样次数都设置03
- 取样模式都设置为Auto
- 间隔时间都设置为00：00：05
- 读数模式都设置为Cumulative
- 此时，打开255电源，调节脱原子气体阀和干燥气体阀，在调至喷嘴阀处呈气雾出现，干燥气体流速计约60SCFH时后，保持其工作状态。
- 此时，让Royco 323和Royco HH200同时工作，看其三次的平均结果，若在20%以内，视为合格。
- 拆下脱原子瓶，重新滴入其它标准粒子，重复该测试。
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