• MSP Corporation纳米级别二氧化硅

    详细信息

     含量:** % 品牌:MSP Corporation   
    纳米级别二氧化硅

    纳米二氧化硅尺寸标准
     
    MSP Corporation NanoSilica™Size Standards SiO2颗粒的浓缩水悬浮液,具有高度均匀的尺寸分布。
    这些粒径标准目前提供的标称尺寸范围为 15 200 nm,非常适合为下一代晶圆和光掩模检测系统生产高质量校准标准。
     
    虽然 MSP 23000NPT 系列和 2300G3 系列粒子沉积系统为表面缺陷校准标准的生产提供了*佳结果,但较旧的 MSP 系统和其他制造商的系统也适用于纳米二氧化硅尺寸标准。
    特征
    + 极其均匀的尺寸分布
    我们的纳米二氧化硅尺寸标准采用获得专利的 SiO2合成工艺开发,其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。
    + 使用 SI 可追溯性测量的峰直径
    允许产量提高和计量小组根据 ISO 9000 标准和 SEMI 指南建立其检查和缺陷审查方法的可追溯性。
    + 受到强烈 DUV 辐射时稳定
    MSP SiO2颗粒在暴露于 DUV 辐射时不会降解,这与 PSL 球体不同,PSL 球体的尺寸会减小。
    + 易于使用
    NanoSilica 颗粒悬浮液在滴管瓶中提供,以便在您的应用中混合具有适当数量浓度的悬浮液时使用方便。
    + 高粒子浓度
    一些应用需要高浓度。 MSP 的颗粒浓度是业内*高的之一。
     
    + 轻松辨别模态(峰值)直径
    + 避免由于平均和峰值直径值之间的差异而导致的差异
    + 制备适用于效率相对较高或较低的气溶胶产生装置的稀释悬浮液
    + 为*先进的检测工具创建持久的校准标准
    + 消耗更少的材料;存钱
    + 随附校准和可追溯性证书以及带有处理和处置说明的安全数据表 (SDS)
     
     
    型号
     
    目录编号
    标称粒径 [nm] 认证1峰值直径 [nm] 大约
    Size Dist. Width, RFWHM2
     
    1044 NS-0015A 15 14-16 13%
    1046 NS-0018A 18 17-19 12%
    1047 NS-0020A 20 19-21 11%
    1048 NS-0024A 24 23-25 10%
    1075 NS-0027A 27 26-28 9%
    1049 NS-0030A 30 29-31 8%
    1079 NS-0032A 32 31-33 7%
    1062 NS-0035A 35 34-36 7%
    1076 NS-0037A 37 36-38 6%
    1051 NS-0040A 40 39-41 6%
    1063 NS-0045A 45 44-46 5%
    1052 NS-0050A 50 49-51 5%
    1077 NS-0055A 55 53-57 5%
    1053 NS-0060A 60 58-62 4%
    1067 NS-0064A 64 62-66 4%
    1054 NS-0070A 70 68-72 4%
    1068 NS-0074A 74 72-76 4%
    1055 NS-0080A 80 78-82 4%
    1069 NS-0084A 84 82-86 4%
    1057 NS-0090A 90 88-92 4%
    1070 NS-0094A 94 92-96 4%
    1058 NS-0100A 100 98-102 4%
    1071 NS-0104A 104 102-106 4%
    1059 NS-0125A 125 120-130 4%
    1060 NS-0150A 150 145-155 4%
    1061 NS-0200A 200 190-210 4%
    1给定目录号的认证直径将在规定范围内提供。
    2相对半高宽(半高全宽); FWHM 除以模态直径。

    规格

    粒子组成 无定形SiO2
    粒子密度 1.9 /3
    折射率 633纳米时为1.41
    体积 5
    专注 每毫升 1013 1015颗粒
    截止日期 ≥ 24
     
    添加剂
    乙醇(按质量计 5-20%
    有机稳定剂(<0.1% 质量
     
    储存和处理
    在室温下储存(参见校准和可追溯性证书
    更多详情。
     
     















    NanoSilica™ 微粒子标准溶液是由MSP Corporation制作的高度均匀尺寸SiO2微粒子浓缩水溶液,微粒子尺寸从18nm200nm都可选择,是市面上*理想、高质量的校正标准,适用于*新一代的晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统。

    *先进的半导体检查技术已经发展到小于30nm,以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统的校正,但新一代的检查系统使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能检查小于20nm的污染或缺陷,当UV光重复打在PSL球形化粒子上,将影响到PSL球形化粒子的质量; 由于SiO2微粒子在DUVEUV的照射下拥有稳定的质量,因此SiO2微粒子是*佳的替代产品。

    NanoSilica™ 微粒子标准溶液是使用有专利的SiO2合成技术,可以做到如PSL球形化粒子一样的尺寸分布,从目前*小的微粒子尺寸来看,NanoSilica™ 微粒子标准溶液是尺寸*均匀,适合做尺寸大小峰值的量测的工具。

    NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子标准溶液是MSP Corporation透过National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到标准单位的产品,加上ISO 9000SEMI的认证,让良率提升及表面检查和缺陷评估有所依据。

    NanoSilica™ 微粒子标准溶液使用15-mL滴定,让使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷标皆标示产品编号、生产编号、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高宽及有效期限,而且提供NIST-traceable证明书与Material Safety Data Sheet (MSDS)说明书。

    产品优势
    尺寸大小分布均匀
    •NIST traceability 的尺寸大小
    •DUVEUV的照射下拥有稳定的质量
    高浓缩度微粒子悬浮溶液
     
    产品效益
    易于微粒子撒粒系统、晶圆表面污染/缺陷检查系统或各类分析仪器侦测与量测尺寸峰值
    可避免平均尺寸与尺寸峰值的差异性
    适合气胶产生设备使用
    提供耐久校正标准给先进的检测设备使用
    省钱而且耗用量少
     
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