MSP Corporation晶圆表面用二氧化硅
详细信息
| | 含量：** ％ | | 品牌：MSP Corporation | | | |
晶圆表面用二氧化硅
纳米二氧化硅™尺寸标准
MSP Corporation 的 NanoSilica™Size Standards 是 SiO2颗粒的浓缩水悬浮液，具有高度均匀的尺寸分布。
这些粒径标准目前提供的标称尺寸范围为 15 至 200 nm，非常适合为下一代晶圆和光掩模检测系统生产高质量校准标准。
虽然 MSP 23000NPT 系列和 2300G3 系列粒子沉积系统为表面缺陷校准标准的生产提供了*佳结果，但较旧的 MSP 系统和其他制造商的系统也适用于纳米二氧化硅尺寸标准。
特征
+ 极其均匀的尺寸分布
我们的纳米二氧化硅尺寸标准采用获得专利的 SiO2合成工艺开发，其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。
+ 使用 SI 可追溯性测量的峰直径
允许产量提高和计量小组根据 ISO 9000 标准和 SEMI 指南建立其检查和缺陷审查方法的可追溯性。
+ 受到强烈 DUV 辐射时稳定
MSP 的 SiO2颗粒在暴露于 DUV 辐射时不会降解，这与 PSL 球体不同，PSL 球体的尺寸会减小。
+ 易于使用
NanoSilica 颗粒悬浮液在滴管瓶中提供，以便在您的应用中混合具有适当数量浓度的悬浮液时使用方便。
+ 高粒子浓度
一些应用需要高浓度。 MSP 的颗粒浓度是业内*高的之一。
+ 轻松辨别模态（峰值）直径
+ 避免由于平均和峰值直径值之间的差异而导致的差异
+ 制备适用于效率相对较高或较低的气溶胶产生装置的稀释悬浮液
+ 为*先进的检测工具创建持久的校准标准
+ 消耗更少的材料；存钱
+ 随附校准和可追溯性证书以及带有处理和处置说明的安全数据表 (SDS)
型号 |
目录编号 |
标称粒径 [nm] |
认证1峰值直径 [nm] |
大约
Size Dist. Width, RFWHM2
|
| 1044 |
NS-0015A |
15 |
14-16 |
13% |
| 1046 |
NS-0018A |
18 |
17-19 |
12% |
| 1047 |
NS-0020A |
20 |
19-21 |
11% |
| 1048 |
NS-0024A |
24 |
23-25 |
10% |
| 1075 |
NS-0027A |
27 |
26-28 |
9% |
| 1049 |
NS-0030A |
30 |
29-31 |
8% |
| 1079 |
NS-0032A |
32 |
31-33 |
7% |
| 1062 |
NS-0035A |
35 |
34-36 |
7% |
| 1076 |
NS-0037A |
37 |
36-38 |
6% |
| 1051 |
NS-0040A |
40 |
39-41 |
6% |
| 1063 |
NS-0045A |
45 |
44-46 |
5% |
| 1052 |
NS-0050A |
50 |
49-51 |
5% |
| 1077 |
NS-0055A |
55 |
53-57 |
5% |
| 1053 |
NS-0060A |
60 |
58-62 |
4% |
| 1067 |
NS-0064A |
64 |
62-66 |
4% |
| 1054 |
NS-0070A |
70 |
68-72 |
4% |
| 1068 |
NS-0074A |
74 |
72-76 |
4% |
| 1055 |
NS-0080A |
80 |
78-82 |
4% |
| 1069 |
NS-0084A |
84 |
82-86 |
4% |
| 1057 |
NS-0090A |
90 |
88-92 |
4% |
| 1070 |
NS-0094A |
94 |
92-96 |
4% |
| 1058 |
NS-0100A |
100 |
98-102 |
4% |
| 1071 |
NS-0104A |
104 |
102-106 |
4% |
| 1059 |
NS-0125A |
125 |
120-130 |
4% |
| 1060 |
NS-0150A |
150 |
145-155 |
4% |
| 1061 |
NS-0200A |
200 |
190-210 |
4% |
1给定目录号的认证直径将在规定范围内提供。
2相对半高宽（半高全宽）； FWHM 除以模态直径。
规格
| 粒子组成 |
无定形SiO2 |
| 粒子密度 |
1.9 克/厘米3 |
| 折射率 |
633纳米时为1.41英寸 |
| 体积 |
5 毫升 |
| 专注 |
每毫升 1013至 1015颗粒 |
| 截止日期 |
≥ 24 个月 |
添加剂 |
乙醇（按质量计 5-20%）
有机稳定剂（<0.1% 质量） |
储存和处理 |
在室温下储存（参见校准和可追溯性证书
更多详情。 |
NanoSilica™ 微粒子标准溶液是由MSP Corporation制作的高度均匀尺寸SiO2微粒子浓缩水溶液，微粒子尺寸从18nm到200nm都可选择，是市面上*理想、高质量的校正标准，适用于*新一代的晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统。
*先进的半导体检查技术已经发展到小于30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统的校正，但新一代的检查系统使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能检查小于20nm的污染或缺陷，当UV光重复打在PSL球形化粒子上，将影响到PSL球形化粒子的质量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下拥有稳定的质量，因此SiO2微粒子是*佳的替代产品。
NanoSilica™ 微粒子标准溶液是使用有专利的SiO2合成技术，可以做到如PSL球形化粒子一样的尺寸分布，从目前*小的微粒子尺寸来看，NanoSilica™ 微粒子标准溶液是尺寸*均匀，适合做尺寸大小峰值的量测的工具。
NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子标准溶液是MSP Corporation透过National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到标准单位的产品，加上ISO 9000与SEMI的认证，让良率提升及表面检查和缺陷评估有所依据。
NanoSilica™ 微粒子标准溶液使用15-mL滴定，让使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷标皆标示产品编号、生产编号、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高宽及有效期限，而且提供NIST-traceable证明书与Material Safety Data Sheet (MSDS)说明书。
产品优势
•尺寸大小分布均匀
•NIST traceability 的尺寸大小
•DUV及EUV的照射下拥有稳定的质量
•高浓缩度微粒子悬浮溶液
产品效益
•易于微粒子撒粒系统、晶圆表面污染/缺陷检查系统或各类分析仪器侦测与量测尺寸峰值
•可避免平均尺寸与尺寸峰值的差异性
•适合气胶产生设备使用
•提供耐久校正标准给先进的检测设备使用
•省钱而且耗用量少
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上海瑞贝贸易有限公司13801662380
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