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文档资料5C悬浮微粒子发生器摘要：悬浮微粒子发生器(5C)又名：美国ATI高效过滤器完整性检测仪、高效过滤器泄露检测仪、洁净房粉尘仪、DOP发生器、DOP检漏仪、5CGenerator/DOP检测仪等。
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