MSP CorporationSiO2标准粒子

详细信息

级别：基准试剂

规格：***

品牌：MSP Corporation

SiO2标准粒子

纳米二氧化硅™尺寸标准

MSP Corporation 的 NanoSilica™Size Standards 是 SiO2颗粒的浓缩水悬浮液，具有高度均匀的尺寸分布。
这些粒径标准目前提供的标称尺寸范围为 15 至 200 nm，非常适合为下一代晶圆和光掩模检测系统生产高质量校准标准。

虽然 MSP 23000NPT 系列和 2300G3 系列粒子沉积系统为表面缺陷校准标准的生产提供了*佳结果，但较旧的 MSP 系统和其他制造商的系统也适用于纳米二氧化硅尺寸标准。
特征
+ 极其均匀的尺寸分布
我们的纳米二氧化硅尺寸标准采用获得专利的 SiO2合成工艺开发，其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。
+ 使用 SI 可追溯性测量的峰直径
允许产量提高和计量小组根据 ISO 9000 标准和 SEMI 指南建立其检查和缺陷审查方法的可追溯性。
+ 受到强烈 DUV 辐射时稳定
MSP 的 SiO2颗粒在暴露于 DUV 辐射时不会降解，这与 PSL 球体不同，PSL 球体的尺寸会减小。
+ 易于使用
NanoSilica 颗粒悬浮液在滴管瓶中提供，以便在您的应用中混合具有适当数量浓度的悬浮液时使用方便。
+ 高粒子浓度
一些应用需要高浓度。 MSP 的颗粒浓度是业内*高的之一。

+ 轻松辨别模态（峰值）直径
+ 避免由于平均和峰值直径值之间的差异而导致的差异
+ 制备适用于效率相对较高或较低的气溶胶产生装置的稀释悬浮液
+ 为*先进的检测工具创建持久的校准标准
+ 消耗更少的材料；存钱
+ 随附校准和可追溯性证书以及带有处理和处置说明的安全数据表 (SDS)

型号	目录编号	标称粒径 [nm]	认证1峰值直径 [nm]	大约 Size Dist. Width, RFWHM2
1044	NS-0015A	15	14-16	13%
1046	NS-0018A	18	17-19	12%
1047	NS-0020A	20	19-21	11%
1048	NS-0024A	24	23-25	10%
1075	NS-0027A	27	26-28	9%
1049	NS-0030A	30	29-31	8%
1079	NS-0032A	32	31-33	7%
1062	NS-0035A	35	34-36	7%
1076	NS-0037A	37	36-38	6%
1051	NS-0040A	40	39-41	6%
1063	NS-0045A	45	44-46	5%
1052	NS-0050A	50	49-51	5%
1077	NS-0055A	55	53-57	5%
1053	NS-0060A	60	58-62	4%
1067	NS-0064A	64	62-66	4%
1054	NS-0070A	70	68-72	4%
1068	NS-0074A	74	72-76	4%
1055	NS-0080A	80	78-82	4%
1069	NS-0084A	84	82-86	4%
1057	NS-0090A	90	88-92	4%
1070	NS-0094A	94	92-96	4%
1058	NS-0100A	100	98-102	4%
1071	NS-0104A	104	102-106	4%
1059	NS-0125A	125	120-130	4%
1060	NS-0150A	150	145-155	4%
1061	NS-0200A	200	190-210	4%

1给定目录号的认证直径将在规定范围内提供。
2相对半高宽（半高全宽）； FWHM 除以模态直径。

规格

粒子组成	无定形SiO₂
粒子密度	1.9 克/厘米3
折射率	633纳米时为1.41英寸
体积	5 毫升
专注	每毫升 1013至 1015颗粒
截止日期	≥ 24 个月
添加剂	乙醇（按质量计 5-20%）有机稳定剂（<0.1% 质量）
储存和处理	在室温下储存（参见校准和可追溯性证书更多详情。

NanoSilica™ 微粒子标准溶液是由MSP Corporation制作的高度均匀尺寸SiO2微粒子浓缩水溶液，微粒子尺寸从18nm到200nm都可选择，是市面上*理想、高质量的校正标准，适用于*新一代的晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统。

*先进的半导体检查技术已经发展到小于30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统的校正，但新一代的检查系统使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能检查小于20nm的污染或缺陷，当UV光重复打在PSL球形化粒子上，将影响到PSL球形化粒子的质量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下拥有稳定的质量，因此SiO2微粒子是*佳的替代产品。

NanoSilica™ 微粒子标准溶液是使用有专利的SiO2合成技术，可以做到如PSL球形化粒子一样的尺寸分布，从目前*小的微粒子尺寸来看，NanoSilica™ 微粒子标准溶液是尺寸*均匀，适合做尺寸大小峰值的量测的工具。

NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子标准溶液是MSP Corporation透过National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到标准单位的产品，加上ISO 9000与SEMI的认证，让良率提升及表面检查和缺陷评估有所依据。

NanoSilica™ 微粒子标准溶液使用15-mL滴定，让使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷标皆标示产品编号、生产编号、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高宽及有效期限，而且提供NIST-traceable证明书与Material Safety Data Sheet (MSDS)说明书。

产品优势
•尺寸大小分布均匀
•NIST traceability 的尺寸大小
•DUV及EUV的照射下拥有稳定的质量
•高浓缩度微粒子悬浮溶液

产品效益
•易于微粒子撒粒系统、晶圆表面污染/缺陷检查系统或各类分析仪器侦测与量测尺寸峰值
•可避免平均尺寸与尺寸峰值的差异性
•适合气胶产生设备使用
•提供耐久校正标准给先进的检测设备使用
•省钱而且耗用量少

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